ตัวกรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์

เหตุใดจึงต้องใช้ตัวกรองก๊าซในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ? 

ตัวกรองก๊าซมีความสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ด้วยเหตุผลสำคัญหลายประการ:

1. การกำจัดสิ่งปนเปื้อน

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์เกี่ยวข้องกับกระบวนการที่มีความละเอียดอ่อนมากมาย แม้แต่การปนเปื้อนที่น้อยที่สุด

เช่น ฝุ่นละออง ความชื้น หรือสารเคมีตกค้าง อาจส่งผลเสียได้ ถอดไส้กรองแก๊สออก

ฝุ่นละออง สิ่งเจือปน และสิ่งปนเปื้อนในอากาศจากก๊าซในกระบวนการ ทำให้มั่นใจได้ถึงสภาพแวดล้อมที่สะอาด

และรักษาความสมบูรณ์ของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

2. การรักษามาตรฐานความบริสุทธิ์สูง

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ต้องการความบริสุทธิ์ที่สูงมากในก๊าซที่ใช้ ซึ่งสิ่งเจือปนสามารถทำได้

นำไปสู่ข้อบกพร่องในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ตัวกรองก๊าซช่วยให้ได้คุณภาพก๊าซบริสุทธิ์เป็นพิเศษและป้องกัน

การปนเปื้อนและรับรองความสม่ำเสมอและความน่าเชื่อถือของผลิตภัณฑ์

3. อุปกรณ์ป้องกัน

สารปนเปื้อนในก๊าซไม่เพียงแต่ทำอันตรายต่อเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์เท่านั้น แต่ยังสร้างความเสียหายให้กับชิ้นส่วนที่ละเอียดอ่อนด้วย

อุปกรณ์ที่ใช้ในกระบวนการผลิต เช่น เครื่องปฏิกรณ์เคมีตกตะกอน (CVD) และ

ระบบการแกะสลัก ไส้กรองแก๊สช่วยปกป้องเครื่องจักรราคาแพงเหล่านี้จากความเสียหาย และลดความเสี่ยงของ

การหยุดทำงานและการซ่อมแซมที่มีค่าใช้จ่ายสูง

4. การป้องกันการสูญเสียผลผลิต

ผลผลิตเป็นสิ่งสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งข้อบกพร่องอาจทำให้เกิดการสูญเสียอย่างมากในการผลิต

แม้แต่อนุภาคเดี่ยวหรือสารเคมีเจือปนก็อาจส่งผลให้สูญเสียผลผลิต ส่งผลต่อประสิทธิภาพการผลิตและความสามารถในการทำกำไร

ตัวกรองก๊าซช่วยให้มั่นใจได้ว่าก๊าซในกระบวนการมีความบริสุทธิ์ ลดการปนเปื้อนและลดการสูญเสียผลผลิต

5. รับประกันคุณภาพผลิตภัณฑ์

ความสม่ำเสมอและคุณภาพเป็นสิ่งสำคัญยิ่งในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ก๊าซที่ปนเปื้อนสามารถสร้างขึ้นได้

ความไม่สอดคล้องกันนำไปสู่อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่ไม่น่าเชื่อถือ โดยการใช้ไส้กรองก๊าซผู้ผลิตสามารถ

รับประกันว่าแต่ละชุดมีคุณสมบัติตรงตามมาตรฐานคุณภาพที่เข้มงวดซึ่งนำไปสู่อุปกรณ์ที่สูงขึ้น

ประสิทธิภาพและอายุการใช้งานยาวนาน

6. ลดการหยุดทำงาน

สารปนเปื้อนในก๊าซในกระบวนการอาจทำให้อุปกรณ์ขัดข้อง จำเป็นต้องบำรุงรักษาหรือเปลี่ยนใหม่

ด้วยการใช้ตัวกรองก๊าซ ผู้ผลิตสามารถลดการหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด รักษาประสิทธิภาพการดำเนินงาน และ

ยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์ที่สำคัญ

7. ความเข้ากันได้ทางเคมี

ก๊าซหลายชนิดที่ใช้ในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์มีปฏิกิริยาหรือกัดกร่อนสูง ไส้กรองแก๊สมี

ออกแบบมาเพื่อทนต่อสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรงเหล่านี้พร้อมทั้งกรองสิ่งสกปรกได้อย่างมีประสิทธิภาพ

การประมวลผลที่ปลอดภัยและมีประสิทธิภาพ

โดยรวมแล้ว ตัวกรองก๊าซมีความสำคัญต่อการรักษาความบริสุทธิ์ ความน่าเชื่อถือ และความปลอดภัยของเซมิคอนดักเตอร์

กระบวนการผลิตช่วยให้บรรลุผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูงและปราศจากข้อบกพร่องในขณะที่

อีกทั้งยังปกป้องอุปกรณ์อันมีค่าอีกด้วย

ประเภทของตัวกรองก๊าซในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ มีการใช้ตัวกรองก๊าซประเภทต่างๆ เพื่อจัดการกับปัญหาต่างๆ

ขั้นตอนและความท้าทายที่เกี่ยวข้องกับความบริสุทธิ์ของก๊าซและการปกป้องอุปกรณ์

ประเภทของไส้กรองแก๊สที่นิยมใช้ได้แก่:

1. ตัวกรองอนุภาค

*วัตถุประสงค์: เพื่อขจัดอนุภาค ฝุ่น และสิ่งปนเปื้อนที่เป็นของแข็งอื่นๆ ออกจากก๊าซในกระบวนการ

*การใช้งาน: มักติดตั้งในขั้นตอนต่างๆ เพื่อปกป้องเวเฟอร์ ห้องกระบวนการ และอุปกรณ์จากการปนเปื้อนของอนุภาค

*วัสดุ: โดยทั่วไปทำจากสเตนเลสเผาผนึก, PTFE หรือวัสดุอื่นๆ ที่รับประกันความทนทานและความเข้ากันได้ทางเคมี

2. ตัวกรองระดับโมเลกุลหรือเคมี (Getter Filters)

*วัตถุประสงค์: เพื่อกำจัดสารปนเปื้อนโมเลกุลเฉพาะ เช่น ความชื้น ออกซิเจน หรือสารประกอบอินทรีย์ที่อาจมีอยู่ในก๊าซในกระบวนการ

*การใช้งาน: ใช้เมื่อต้องการก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง เช่น ในระหว่างกระบวนการสะสมหรือกัดกรด

*วัสดุ: มักสร้างโดยใช้ถ่านกัมมันต์ ซีโอไลต์ หรือวัสดุดูดซับอื่นๆ ที่ออกแบบมาเพื่อดักจับสิ่งเจือปนในระดับโมเลกุลโดยเฉพาะ

3. ตัวกรองก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง

*วัตถุประสงค์: เพื่อให้ได้มาตรฐานก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ (UHP) ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่สิ่งเจือปนเพียงเล็กน้อยอาจส่งผลต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์

*การใช้งาน: ตัวกรองเหล่านี้ใช้ในกระบวนการต่างๆ เช่น การสะสมไอสารเคมี (CVD) และการกัดด้วยพลาสมา ซึ่งสิ่งเจือปนอาจทำให้เกิดข้อบกพร่องร้ายแรงได้

*วัสดุ: ผลิตจากสแตนเลสพร้อมเมมเบรนพิเศษเพื่อรักษาความสมบูรณ์ภายใต้แรงกดดันสูงและสภาวะที่รุนแรง

4. ตัวกรองก๊าซจำนวนมาก

*วัตถุประสงค์: เพื่อฟอกก๊าซ ณ จุดเข้าหรือก่อนจำหน่ายสู่สายการผลิต

*การใช้งาน: วางตำแหน่งต้นน้ำในระบบส่งก๊าซเพื่อกรองก๊าซจำนวนมากก่อนที่จะถูกส่งไปยังเครื่องมือหรือเครื่องปฏิกรณ์แต่ละเครื่อง

*วัสดุ: ตัวกรองเหล่านี้มักจะมีความจุสูงในการจัดการก๊าซปริมาณมาก

5. ตัวกรองก๊าซ ณ จุดใช้งาน (POU)

*วัตถุประสงค์: เพื่อให้แน่ใจว่าก๊าซที่ส่งไปยังเครื่องมือแปรรูปเฉพาะแต่ละชิ้นปราศจากสิ่งปนเปื้อนใดๆ

*การใช้งาน: ติดตั้งก่อนที่จะนำก๊าซเข้าสู่อุปกรณ์ในกระบวนการ เช่น ห้องแกะสลักหรือสะสม

*วัสดุ: ทำจากวัสดุที่เข้ากันได้กับก๊าซปฏิกิริยาที่ใช้ในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ เช่น โลหะเผาผนึกหรือ PTFE

6. ตัวกรองก๊าซอินไลน์

*วัตถุประสงค์: เพื่อให้การกรองแบบอินไลน์สำหรับก๊าซที่เคลื่อนที่ผ่านระบบจำหน่าย

*การใช้งาน: ติดตั้งภายในท่อแก๊สตามจุดสำคัญ ให้การกรองต่อเนื่องทั่วทั้งระบบ

*วัสดุ: สแตนเลสเผาหรือนิกเกิลเพื่อให้แน่ใจว่าสารเคมีเข้ากันได้กับก๊าซ

7. ตัวกรองก๊าซแบบยึดพื้นผิว

*วัตถุประสงค์: สำหรับติดตั้งโดยตรงบนส่วนประกอบแผงแก๊สเพื่อขจัดอนุภาคและสารปนเปื้อนระดับโมเลกุล

*การใช้งาน: ตัวกรองเหล่านี้พบได้ทั่วไปในพื้นที่แคบ ให้การกรอง ณ จุดใช้งานที่มีประสิทธิภาพในการใช้งานที่สำคัญ

*วัสดุ: สแตนเลสที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อความทนทานและเข้ากันได้กับก๊าซในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

8. ฟิลเตอร์ซับไมครอน

*วัตถุประสงค์: เพื่อกรองอนุภาคที่มีขนาดเล็กมาก ซึ่งมักจะมีขนาดเล็กถึงขนาดต่ำกว่าไมครอน ซึ่งยังสามารถทำให้เกิดข้อบกพร่องที่สำคัญในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ได้

*การใช้งาน: ใช้ในกระบวนการที่ต้องการการกรองระดับสูงสุดเพื่อรักษาปริมาณก๊าซบริสุทธิ์พิเศษ เช่น การพิมพ์หินด้วยแสง

*วัสดุ: โลหะเผาผนึกความหนาแน่นสูงหรือวัสดุเซรามิกที่สามารถดักจับแม้แต่อนุภาคที่เล็กที่สุดได้อย่างมีประสิทธิภาพ

9. ไส้กรองคาร์บอนที่เปิดใช้งาน

*วัตถุประสงค์: เพื่อขจัดสารปนเปื้อนอินทรีย์และก๊าซระเหย

*การใช้งาน: ใช้ในการใช้งานที่ต้องกำจัดสิ่งเจือปนที่เป็นก๊าซออกเพื่อป้องกันการปนเปื้อนของแผ่นเวเฟอร์หรือการรบกวนของปฏิกิริยา

*วัสดุ: วัสดุถ่านกัมมันต์ที่ออกแบบมาเพื่อดูดซับโมเลกุลอินทรีย์

10.ตัวกรองก๊าซโลหะเผา

*วัตถุประสงค์: ขจัดอนุภาคและสิ่งสกปรกได้อย่างมีประสิทธิภาพ พร้อมความแข็งแรงของโครงสร้างและทนทานต่อแรงดันสูง

*การใช้งาน: ใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์หลายขั้นตอนซึ่งจำเป็นต้องมีการกรองที่แข็งแกร่ง

*วัสดุ: โดยทั่วไปแล้วทำจากสแตนเลสเผาผนึกหรือโลหะผสมอื่นๆ เพื่อให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงและสารเคมี

11.ตัวกรองก๊าซที่ชอบน้ำ

*วัตถุประสงค์: เพื่อป้องกันไม่ให้ความชื้นหรือไอน้ำเข้าสู่กระแสก๊าซ ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งในกระบวนการบางอย่างที่ไวต่อการติดตามปริมาณความชื้น

*การใช้งาน: มักใช้ในกระบวนการต่างๆ เช่น การทำแผ่นเวเฟอร์แห้งหรือการกัดด้วยพลาสมา

*วัสดุ: แผ่นเมมเบรนที่ไม่ชอบน้ำ เช่น PTFE เพื่อให้แน่ใจว่าก๊าซจะปราศจากการปนเปื้อนของความชื้น

ตัวกรองก๊าซประเภทต่างๆ เหล่านี้ได้รับการคัดเลือกอย่างระมัดระวังโดยพิจารณาจากคุณสมบัติเฉพาะ ความเข้ากันได้ของวัสดุ และความเหมาะสมสำหรับเงื่อนไขเฉพาะของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผสมผสานตัวกรองอย่างเหมาะสมถือเป็นสิ่งสำคัญในการรักษาระดับความบริสุทธิ์ของก๊าซให้สูงสุด รับประกันความเสถียรของกระบวนการ และป้องกันข้อบกพร่องในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

คำถามที่พบบ่อยเกี่ยวกับตัวกรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์

คำถามที่พบบ่อย 1:

ไส้กรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์คืออะไร และเหตุใดจึงมีความสำคัญ

ตัวกรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์เป็นส่วนประกอบที่สำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ได้รับการออกแบบมาเพื่อขจัดสิ่งเจือปนและสิ่งปนเปื้อนออกจากก๊าซในกระบวนการ เช่นออกซิเจน,

ไนโตรเจน ไฮโดรเจน และก๊าซเคมีต่างๆ.

สิ่งเจือปนเหล่านี้อาจส่งผลกระทบอย่างมากต่อคุณภาพ ผลผลิต และความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

ด้วยการกรองกระแสก๊าซอย่างมีประสิทธิภาพ ตัวกรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์จะช่วย:

1.รักษาความบริสุทธิ์สูง:

ตรวจสอบให้แน่ใจว่าก๊าซที่ใช้ในกระบวนการผลิตปราศจากสิ่งปนเปื้อนที่อาจทำให้ประสิทธิภาพของอุปกรณ์ลดลง

2.ป้องกันความเสียหายของอุปกรณ์:

ปกป้องอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีความละเอียดอ่อนจากการปนเปื้อนของอนุภาคและสารเคมี ซึ่งอาจนำไปสู่การหยุดทำงานและการซ่อมแซมที่มีค่าใช้จ่ายสูง

3. ปรับปรุงผลผลิตผลิตภัณฑ์:

ลดข้อบกพร่องและความล้มเหลวที่เกิดจากสิ่งเจือปนที่เกิดจากก๊าซ ส่งผลให้ผลผลิตสูงขึ้น

4.เพิ่มความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์:

ลดการเสื่อมสภาพในระยะยาวของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากปัญหาที่เกี่ยวข้องกับการปนเปื้อน

คำถามที่พบบ่อย 2:

ไส้กรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์ประเภททั่วไปมีอะไรบ้าง?

ตัวกรองก๊าซหลายประเภทใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยแต่ละประเภทได้รับการออกแบบให้ถอดออก

สารปนเปื้อนชนิดเฉพาะ

ประเภทที่พบบ่อยที่สุด ได้แก่:

1.ตัวกรองอนุภาค:

ตัวกรองเหล่านี้จะขจัดอนุภาคของแข็ง เช่น ฝุ่น เส้นใย และอนุภาคโลหะ ออกจากกระแสก๊าซ

โดยทั่วไปจะทำจากวัสดุเช่นโลหะเผาผนึก เซรามิก หรือตัวกรองเมมเบรน

2.ตัวกรองสารเคมี:

ตัวกรองเหล่านี้จะขจัดสารเคมีเจือปน เช่น ไอน้ำ ไฮโดรคาร์บอน และก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน

มักขึ้นอยู่กับหลักการดูดซับหรือดูดซับ โดยใช้วัสดุ เช่น ถ่านกัมมันต์

ตะแกรงโมเลกุลหรือตัวดูดซับสารเคมี

3. ตัวกรองแบบผสม:

ตัวกรองเหล่านี้รวมความสามารถของตัวกรองอนุภาคและตัวกรองเคมีเพื่อกำจัดทั้งสองประเภท

สารปนเปื้อน มักใช้ในการใช้งานที่สำคัญซึ่งจำเป็นต้องมีความบริสุทธิ์สูง

คำถามที่พบบ่อย 3:

ตัวกรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์ถูกเลือกและออกแบบอย่างไร

การเลือกและการออกแบบตัวกรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์เกี่ยวข้องกับหลายปัจจัย ได้แก่:

* ข้อกำหนดความบริสุทธิ์ของก๊าซ:

ระดับความบริสุทธิ์ที่ต้องการสำหรับกระแสก๊าซเฉพาะจะกำหนดประสิทธิภาพและความสามารถในการกรองของตัวกรอง

* อัตราการไหลและความดัน:

ปริมาตรของก๊าซที่จะกรองและแรงดันใช้งานมีอิทธิพลต่อขนาด วัสดุ และโครงสร้างของตัวกรอง

* ชนิดและความเข้มข้นของสารปนเปื้อน:

สารปนเปื้อนประเภทเฉพาะที่มีอยู่ในกระแสแก๊สเป็นตัวกำหนดการเลือกใช้สารกรองและขนาดรูพรุน

*อุณหภูมิและความชื้น:

สภาพการทำงานอาจส่งผลต่อประสิทธิภาพและอายุการใช้งานของตัวกรอง

*ค่าใช้จ่ายและการบำรุงรักษา:

ต้องพิจารณาต้นทุนเริ่มต้นของตัวกรองและข้อกำหนดในการบำรุงรักษาอย่างต่อเนื่อง

ด้วยการพิจารณาปัจจัยเหล่านี้อย่างรอบคอบ วิศวกรจึงสามารถเลือกและออกแบบตัวกรองก๊าซที่ตรงตามความต้องการเฉพาะได้

ความต้องการกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ควรเปลี่ยนตัวกรองแก๊สในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์บ่อยแค่ไหน?

ความถี่ในการเปลี่ยนไส้กรองก๊าซในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขึ้นอยู่กับปัจจัยหลายประการ รวมถึงประเภทของ

กระบวนการ ระดับสารปนเปื้อน และประเภทของตัวกรองเฉพาะที่ใช้ โดยปกติแล้ว ไส้กรองแก๊สจะถูกเปลี่ยนเป็นประจำ

ตารางการบำรุงรักษาเพื่อป้องกันความเสี่ยงของการปนเปื้อนบ่อยครั้งทุกๆ 6 ถึง 12 เดือนขึ้นอยู่กับเงื่อนไขการใช้งาน

และคำแนะนำจากผู้ผลิตไส้กรอง

อย่างไรก็ตาม กำหนดการการเปลี่ยนอาจแตกต่างกันไปตามสภาพแวดล้อมการทำงาน ตัวอย่างเช่น:

*กระบวนการที่มีการปนเปื้อนสูง:

อาจจำเป็นต้องเปลี่ยนตัวกรองบ่อยขึ้นหากสัมผัสกับระดับที่สูง

การปนเปื้อนของอนุภาคหรือโมเลกุล

*การใช้งานที่สำคัญ:

ในกระบวนการที่ต้องการความบริสุทธิ์สูงมาก (เช่น การพิมพ์หินด้วยแสง) ตัวกรองมักจะถูกเปลี่ยน

ล่วงหน้าเพื่อให้แน่ใจว่าคุณภาพก๊าซจะไม่ลดลง

การตรวจสอบแรงดันแตกต่างทั่วตัวกรองเป็นวิธีการทั่วไปในการพิจารณาว่าจำเป็นต้องเปลี่ยนตัวกรองเมื่อใด

เมื่อสิ่งปนเปื้อนสะสม แรงดันตกคร่อมตัวกรองจะเพิ่มขึ้น ซึ่งบ่งชี้ว่าประสิทธิภาพลดลง

การเปลี่ยนตัวกรองเป็นสิ่งสำคัญก่อนที่ประสิทธิภาพจะลดลง เนื่องจากการละเมิดความบริสุทธิ์ของก๊าซอาจทำให้เกิดข้อบกพร่องที่สำคัญได้

ลดผลผลิตและยังทำให้อุปกรณ์เสียหายอีกด้วย

ตัวกรองแก๊สทำจากวัสดุอะไรสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์?

ตัวกรองก๊าซที่ใช้ในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ทำจากวัสดุที่สามารถรักษามาตรฐานความบริสุทธิ์สูงสุดได้

และทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงที่พบในการผลิต วัสดุทั่วไป ได้แก่ :

*สแตนเลส (316L): วัสดุที่ใช้กันอย่างแพร่หลายเนื่องจากทนทานต่อสารเคมี ความแข็งแรงทางกล และ

ความสามารถในการประดิษฐ์ด้วยขนาดรูพรุนที่แม่นยำโดยใช้เทคโนโลยีการเผาผนึก เหมาะสำหรับการกรองทั้งปฏิกิริยา

และก๊าซเฉื่อย

*PTFE (โพลีเตตระฟลูออโรเอทิลีน): PTFE เป็นวัสดุเฉื่อยทางเคมีที่ใช้สำหรับการกรองที่มีปฏิกิริยาสูงหรือมีฤทธิ์กัดกร่อน

ก๊าซ มีความเข้ากันได้ทางเคมีที่ดีเยี่ยมและคุณสมบัติไม่ชอบน้ำ ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับวัสดุที่ไวต่อความชื้น

กระบวนการ

*นิกเกิลและฮาสเตลลอย:

วัสดุเหล่านี้ใช้สำหรับการใช้งานที่อุณหภูมิสูงหรือสำหรับกระบวนการที่เกี่ยวข้องกับสารเคมีที่มีฤทธิ์รุนแรง

ซึ่งสแตนเลสอาจเสื่อมสภาพได้

*เซรามิก:

ตัวกรองเซรามิกใช้สำหรับการใช้งานที่ต้องการความต้านทานต่ออุณหภูมิที่สูงหรือต่ำกว่าไมครอน

การกรองอนุภาค

การเลือกใช้วัสดุขึ้นอยู่กับชนิดของก๊าซ การมีอยู่ของชนิดที่เกิดปฏิกิริยา อุณหภูมิ และ

พารามิเตอร์กระบวนการอื่น ๆ วัสดุจะต้องไม่ทำปฏิกิริยาเพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีสิ่งเจือปน

หรืออนุภาคเข้าสู่กระบวนการ ดังนั้นจึงรักษาระดับความบริสุทธิ์ของก๊าซที่จำเป็นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

บทบาทของตัวกรอง ณ จุดใช้งาน (POU) ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์คืออะไร?

ตัวกรอง ณ จุดใช้งาน (POU) มีความสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากช่วยให้แน่ใจว่าก๊าซได้รับการทำให้บริสุทธิ์ทันทีก่อน

เข้าสู่เครื่องมือกระบวนการ ตัวกรองเหล่านี้ให้การป้องกันขั้นสุดท้ายต่อสิ่งปนเปื้อนที่อาจเข้าสู่กระแสก๊าซ

ในระหว่างการจัดเก็บ การขนส่ง หรือการกระจายสินค้า จึงช่วยเพิ่มเสถียรภาพของกระบวนการและคุณภาพของผลิตภัณฑ์

ประโยชน์หลักของตัวกรอง POU:

*วางตำแหน่งใกล้กับอุปกรณ์สำคัญ (เช่น ห้องแกะสลักหรือสะสม) เพื่อป้องกันการปนเปื้อนไม่ให้เข้าถึงแผ่นเวเฟอร์

*กำจัดสิ่งเจือปนทั้งอนุภาคและโมเลกุลที่อาจเกิดจากระบบจัดการก๊าซหรือการสัมผัสต่อสิ่งแวดล้อม

*ตรวจสอบให้แน่ใจว่าได้ส่งก๊าซคุณภาพสูงสุดที่เป็นไปได้ไปยังเครื่องมือในกระบวนการ ปกป้องอุปกรณ์ และเพิ่มคุณภาพของอุปกรณ์ที่ผลิต

*ลดความแปรปรวนของกระบวนการ เพิ่มผลผลิต และลดระดับข้อบกพร่อง

*สิ่งที่ขาดไม่ได้ในสภาพแวดล้อมเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงที่แม้แต่สิ่งเจือปนเล็กน้อยก็อาจส่งผลกระทบอย่างมากต่อประสิทธิภาพการผลิตและความน่าเชื่อถือของผลิตภัณฑ์

ตัวกรองก๊าซป้องกันการหยุดทำงานของอุปกรณ์ในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างไร

ตัวกรองก๊าซป้องกันการหยุดทำงานของอุปกรณ์ในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์โดยทำให้แน่ใจว่าก๊าซในกระบวนการปราศจากอย่างสม่ำเสมอ

สารปนเปื้อนที่อาจทำให้อุปกรณ์การผลิตเสียหายได้ การผลิตเซมิคอนดักเตอร์เกี่ยวข้องกับการใช้อย่างสูง

อุปกรณ์ที่มีความละเอียดอ่อน รวมถึงห้องตกตะกอน เครื่องแกะสลักด้วยพลาสมา และระบบการพิมพ์หินด้วยแสง

หากมีสิ่งปนเปื้อน เช่น ฝุ่น ความชื้น หรือสารเจือปนที่เกิดปฏิกิริยาเข้าไปในเครื่องเหล่านี้ สิ่งเหล่านี้อาจทำให้เกิดปัญหาได้หลายประการ

ตั้งแต่วาล์วและหัวฉีดที่อุดตันไปจนถึงการสร้างความเสียหายให้กับพื้นผิวเวเฟอร์หรือภายในเครื่องปฏิกรณ์

ด้วยการใช้ตัวกรองก๊าซคุณภาพสูง ผู้ผลิตจะป้องกันการปนเปื้อนเหล่านี้ และลดโอกาสที่จะเกิดการปนเปื้อน

การบำรุงรักษาโดยไม่ได้วางแผนและการพังของอุปกรณ์ ซึ่งช่วยในการรักษาตารางการผลิตที่มั่นคงและลดขนาดลง

การหยุดทำงานที่มีค่าใช้จ่ายสูงและหลีกเลี่ยงค่าใช้จ่ายที่สำคัญที่เกี่ยวข้องกับการซ่อมแซมหรือเปลี่ยนใหม่

นอกจากนี้ ตัวกรองที่ได้รับการดูแลอย่างดียังช่วยยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบหลัก เช่น ตัวควบคุมการไหล วาล์ว และเครื่องปฏิกรณ์

จึงช่วยเพิ่มประสิทธิภาพโดยรวมและความสามารถในการทำกำไรของกระบวนการผลิต

ดังนั้นหลังจากตรวจสอบรายละเอียดเกี่ยวกับตัวกรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์แล้ว หากคุณยังคงมีคำถามเพิ่มเติม

พร้อมที่จะเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของคุณด้วยโซลูชันการกรองก๊าซคุณภาพสูงแล้วหรือยัง

ติดต่อ HENGKO วันนี้เพื่อรับคำแนะนำจากผู้เชี่ยวชาญและโซลูชันที่ปรับแต่งให้ตรงกับความต้องการของคุณ

หลังจากตรวจสอบข้อมูลรายละเอียดเกี่ยวกับตัวกรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์แล้ว หากคุณมีคำถามเพิ่มเติม

พร้อมที่จะเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของคุณด้วยโซลูชันการกรองก๊าซคุณภาพสูงแล้วหรือยัง

ติดต่อ HENGKO วันนี้เพื่อรับคำแนะนำจากผู้เชี่ยวชาญและโซลูชันที่ปรับแต่งให้ตรงกับความต้องการของคุณ

ส่งอีเมลถึงเราที่ka@hengko.comสำหรับข้อมูลเพิ่มเติม

ทีมงานของเราพร้อมให้ความช่วยเหลือคุณปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตและคุณภาพผลิตภัณฑ์ของคุณ