ตัวกรองก๊าซโลหะแบบอินไลน์ชนิดเผาผนึก สำหรับระบบการกรองก๊าซในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
ตัวกรองก๊าซโลหะแบบเผาผนึกชนิดอินไลน์ ทำงานโดยการกำจัดสิ่งเจือปนต่างๆ เช่น ความชื้น ออกซิเจน คาร์บอนไดออกไซด์ คาร์บอนมอนอกไซด์ ไฮโดรคาร์บอน และโลหะคาร์บอนิล โดยใช้ชั้นวัสดุที่ทำปฏิกิริยาได้ สิ่งเจือปนจะถูกกำจัดออกจากกระแสแก๊สในบริเวณที่การกรองอนุภาคแบบดั้งเดิมไม่ได้ผล วัสดุของเราสามารถกำจัดสารปนเปื้อนในระดับพื้นฐานได้โดยไม่ก่อให้เกิดโลหะหรือสารปนเปื้อนที่เป็นอันตรายอื่นๆ เข้าสู่กระแสของกระบวนการ
ตัวกรองก๊าซแบบโลหะทั้งหมดที่มีอัตราการไหลสูง ตอบโจทย์ความต้องการและข้อกังวลในการจ่ายก๊าซกระบวนการที่ปราศจากอนุภาค ณ จุดส่งมอบ ตัวกรองก๊าซโลหะแบบติดตั้งในสายการผลิตคือ...ตัวกรองโลหะสแตนเลสเผาผนึกตัวเรือนทำจากสแตนเลส เราใช้ผลิตภัณฑ์จากวัสดุกรองแบบเผาผนึก (ตัวกรองสแตนเลสเผาผนึกตลอดกระบวนการจนถึงผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้าย นั่นคือตัวกรองก๊าซที่ใช้ในการผลิตผลิตภัณฑ์ต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ จอแสดงผลแบบแบน และแผงโซลาร์เซลล์
มีจำหน่ายพร้อมตัวกรองโลหะเผาผนึกระบบกรองสำหรับก๊าซในกระบวนการผลิตทุกชนิด มีให้เลือกหลายแบบตามความต้องการในการติดตั้งของลูกค้า มีเทคโนโลยีการกรองขนาด 0.1 µm เพื่อตอบสนองความต้องการสูงสุดในการส่งก๊าซปริมาณมากที่สะอาดหมดจด
การใช้งาน:
ก๊าซเฉื่อย
ก๊าซเฉื่อย
ก๊าซที่ไม่ทำปฏิกิริยา
ก๊าซไฮไดรด์
สารเพอร์ฟลูออโรคาร์บอนและก๊าซกัดกร่อน
















