ตัวกรองก๊าซโลหะซินเทอร์อินไลน์สำหรับระบบฟอกก๊าซเซมิคอนดักเตอร์
ตัวกรองก๊าซโลหะในสายการผลิตเผาผนึกทำงานเพื่อขจัดสิ่งสกปรก รวมถึงความชื้น ออกซิเจน คาร์บอนไดออกไซด์ คาร์บอนมอนอกไซด์ ไฮโดรคาร์บอน และคาร์บอนิลของโลหะโดยใช้วัสดุที่ทำปฏิกิริยาได้สิ่งเจือปนจะถูกขับออกจากกระแสก๊าซในบริเวณที่การกรองอนุภาคแบบดั้งเดิมไม่ได้ผลวัสดุของเราช่วยขจัดสิ่งปนเปื้อนในระดับพื้นหลังโดยไม่ทำให้โลหะหรือสารปนเปื้อนที่เป็นอันตรายอื่นๆ เข้าสู่กระบวนการ
ตัวกรองการไหลสูงที่เป็นโลหะทั้งหมดตอบสนองข้อกังวลและความต้องการในการจ่ายก๊าซในกระบวนการไร้อนุภาค ณ จุดส่งมอบตัวกรองก๊าซโลหะแบบอินไลน์คือกตัวกรองโลหะสแตนเลสเผาพร้อมตัวเรือนสแตนเลสเรานำผลิตภัณฑ์จากสื่อกรองเผา (ตัวกรองสแตนเลสเผา) ไปจนถึงผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้าย ตัวกรองก๊าซที่ใช้ในการผลิตผลิตภัณฑ์ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ จอแบน และแผงโซลาร์เซลล์
มีจำหน่ายด้วยตัวกรองโลหะเผาการกรองก๊าซในกระบวนการทั้งหมดมีข้อต่อหลายประเภทเพื่อตอบสนองความต้องการในการติดตั้งของลูกค้ามาพร้อมกับเทคโนโลยีการกรองขนาด 0.1 µm เพื่อตอบสนองความต้องการสูงสุดในการจัดส่งก๊าซปริมาณมากที่มีความสะอาดเป็นพิเศษ
การใช้งาน:
ก๊าซเฉื่อย
ก๊าซมีตระกูล
ก๊าซที่ไม่ทำปฏิกิริยา
ก๊าซไฮไดรด์
เปอร์ฟลูออโรคาร์บอนและก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน