เซ็นเซอร์อุณหภูมิและความชื้นสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ โครงการควบคุมความชื้นอุณหภูมิห้องสะอาด

แสดงสินค้า

อุณหภูมิและความชื้นของพื้นที่สะอาดส่วนใหญ่ถูกกำหนดตามข้อกำหนดของกระบวนการ แต่ภายใต้เงื่อนไขของการปฏิบัติตามข้อกำหนดของกระบวนการ ควรคำนึงถึงความรู้สึกสบายด้วยการปรับปรุงข้อกำหนดด้านความสะอาดของอากาศ มีแนวโน้มข้อกำหนดด้านอุณหภูมิและความชื้นที่เข้มงวดมากขึ้นเรื่อยๆ
เนื่องจากความแม่นยำในการประมวลผลดีขึ้นเรื่อยๆ ดังนั้นช่วงความผันผวนของอุณหภูมิจึงน้อยลงเรื่อยๆตัวอย่างเช่น ในกระบวนการแสดงภาพพิมพ์หินของการผลิตวงจรรวมขนาดใหญ่ ความแตกต่างของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนระหว่างแก้วและแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเนื่องจากเป็นวัสดุมาสก์จำเป็นต้องมีขนาดเล็กลงเรื่อยๆเส้นผ่านศูนย์กลาง 100 um ซิลิคอนเวเฟอร์ อุณหภูมิเพิ่มขึ้น 1 องศา จะทำให้เกิดการขยายตัวเชิงเส้น 0.24um ดังนั้นต้องมีอุณหภูมิ ±0.1 องศา ในขณะเดียวกันค่าความชื้นโดยทั่วไปจะต่ำ เพราะคนเหงื่อ ผลิตภัณฑ์จะมีมลพิษ โดยเฉพาะอย่างยิ่งกลัวการประชุมเชิงปฏิบัติการสารกึ่งตัวนำโซเดียมการประชุมเชิงปฏิบัติการนี้ไม่ควรเกิน 25 องศา
ความชื้นสูงทำให้เกิดปัญหามากขึ้นเมื่อความชื้นสัมพัทธ์เกิน 55% น้ำค้างจะก่อตัวขึ้นที่ผนังของท่อน้ำหล่อเย็น ซึ่งจะก่อให้เกิดอุบัติเหตุต่างๆ หากเกิดขึ้นในอุปกรณ์หรือวงจรที่มีความแม่นยำเมื่อความชื้นสัมพัทธ์ 50% จะเกิดสนิมได้ง่ายนอกจากนี้ เมื่อความชื้นสูงเกินไป ฝุ่นที่ติดอยู่บนพื้นผิวของชิปซิลิกอนจะถูกดูดซับทางเคมีบนพื้นผิวเพื่อไม่ให้หลุดออกยิ่งความชื้นสัมพัทธ์สูงเท่าไร การยึดเกาะก็ยากต่อการขจัดออก แต่เมื่อความชื้นสัมพัทธ์ต่ำกว่า 30% อนุภาคจะดูดซับบนพื้นผิวได้ง่ายเนื่องจากการกระทำของแรงไฟฟ้าสถิต และอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์จำนวนมาก มีแนวโน้มที่จะพังทลายช่วงอุณหภูมิที่เหมาะสมสำหรับการผลิตแผ่นเวเฟอร์คือ 35-45%

ดังนั้นการควบคุมอุณหภูมิและความชื้นจึงมีความสำคัญอย่างยิ่ง HENGKO สามารถจัดหาชุดต่างๆ ให้กับคุณได้เครื่องส่งสัญญาณอุณหภูมิและความชื้น โซลูชันการประมวลผลแบบกำหนดเอง!

เซ็นเซอร์อุณหภูมิและความชื้นสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ โครงการควบคุมความชื้นอุณหภูมิห้องสะอาด

ไม่พบสินค้าที่ตรงกับความต้องการของคุณ?ติดต่อพนักงานขายของเราสำหรับบริการปรับแต่ง OEM / ODM!