ระบบกรองความบริสุทธิ์สูงสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่สะอาดเป็นพิเศษ
คำอธิบาย
ตัวกรองก๊าซอัตราการไหลสูง – ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการกรองก๊าซในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก ผลิตจากสแตนเลสสตีล 316L ด้วยความแม่นยำสูง มีโครงสร้างแบบหลายคอลัมน์หรือแบบแผ่นดิสก์เรียงซ้อน เพื่อให้มั่นใจได้ว่ามีความต้านทานต่ำที่อัตราการไหลสูง และมีความแม่นยำในการกรองสูงถึง 0.003 ไมโครเมตร เพื่อตอบสนองความต้องการความบริสุทธิ์สูงมาก โครงสร้างโลหะทั้งหมดทำให้เป็นโซลูชันการกรองที่เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและเปลี่ยนแปลงตลอดเวลา
คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์
▶โครงสร้างทั้งหมดทำจากสแตนเลส 316L— ช่วยให้มีความทนทานและต้านทานการกัดกร่อน
▶อัตราการไหลสูง ความต้านทานต่ำ— ออกแบบมาเพื่อการไหลสูงโดยมีการสูญเสียแรงดันน้อยที่สุด
▶ประสิทธิภาพการกักเก็บอนุภาคสูงเป็นพิเศษ— เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการรักษาสภาพที่บริสุทธิ์เป็นพิเศษ
▶ทนต่ออุณหภูมิสูง ความดันสูง และการกัดกร่อน— เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
▶สามารถใช้งานร่วมกับก๊าซในกระบวนการผลิตต่างๆ ได้— ใช้งานได้หลากหลายในอุตสาหกรรมหลายประเภท
▶เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการผลิต การทดสอบ และการบรรจุภัณฑ์ในห้องปลอดเชื้อ— เหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมที่มีการควบคุมอุณหภูมิ
▶การทดสอบความสมบูรณ์ 100%— ตัวกรองแต่ละชิ้นผ่านการทดสอบความสมบูรณ์อย่างครอบคลุมเพื่อรับประกันคุณภาพ
▶การทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียม 100%— ผ่านการทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียมเพื่อให้มั่นใจในความน่าเชื่อถือในการใช้งานที่สำคัญ
เอกสารข้อมูลทางเทคนิค
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
| พารามิเตอร์ | ข้อกำหนด |
|---|---|
| วัสดุของไส้กรอง | ผงสแตนเลส 316L เผาผนึก |
| วัสดุสำหรับที่อยู่อาศัย | เหล็กกล้าไร้สนิม 316L |
| แรงดันขาเข้าสูงสุด | 207 บาร์ |
| แรงดันแตกต่างการทำงานสูงสุด | 5.2 บาร์ |
| อัตราการรั่วไหลของการตรวจสอบฮีเลียม | 2 x 10⁻¹⁰ ซีซี/นาที |
| อัตราการรั่วไหลจากการทดสอบด้วยฮีเลียม | 1 x 10⁻¹⁰ ซีซี/นาที |
| การบำบัดพื้นผิว | |
| พื้นผิวด้านนอก | Ra < 1.6 ไมโครเมตร |
| พื้นผิวภายใน | Ra < 0.2 ไมโครเมตร |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | |
| ก๊าซเฉื่อย | 400-500℃ |
| ก๊าซกัดกร่อนและทำปฏิกิริยา | 50℃ |
| ประสิทธิภาพการกักเก็บอนุภาค | ≥99.9999999% (9LRV) @ 30 วินาทีต่อนาที |
| ความสะอาดปลายทาง | ≤0.03 อนุภาค/ลิตร ที่ > 0.01 μm, 30 slpm |
| ขนาดการกักเก็บอนุภาค | ≥0.003 ไมโครเมตร |
ขนาด
นี่คือหมายเลขชิ้นส่วนที่คุณสามารถสั่งซื้อได้และรายละเอียดขนาด:
| แบบจำลองผลิตภัณฑ์ | วัสดุของไส้กรอง | ความแม่นยำในการกรอง (μm) | ประเภทการเชื่อมต่อ |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | สแตนเลสสตีล 316L | 10~0.003 | 1/4 นิ้ว |
| Z01B-00648 | สแตนเลสสตีล 316L | 10~0.003 | 1/2 นิ้ว |
| Z01B-00649 | สแตนเลสสตีล 316L | 10~0.003 | 1/8 นิ้ว |
| Z01B-00650 | สแตนเลสสตีล 316L | 10~0.003 | 1” |
| ปรับแต่งได้ | สแตนเลสสตีล 316L | 10~0.003 | ตามความจำเป็น |
การใช้งานทั่วไป
ตัวอย่างการใช้งานทั่วไปของตัวกรองปริมาณมากและตัวกรองอเนกประสงค์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและตัวกรองกระแสแก๊สที่บริเวณฐานแก๊ส:
1. การผลิตเซมิคอนดักเตอร์
*รับประกันการจ่ายก๊าซบริสุทธิ์พิเศษสำหรับกระบวนการผลิตเวเฟอร์ การกัด และการตกตะกอนไอสารเคมี (CVD)
*รักษาความบริสุทธิ์สูงในระบบจ่ายก๊าซปริมาณมากสำหรับไนโตรเจน อาร์กอน และก๊าซพาหะอื่นๆ
2. การผลิตยา
*ให้ก๊าซปลอดเชื้อและปราศจากอนุภาคสำหรับสภาพแวดล้อมการผลิตที่สำคัญ
*รองรับการกรองที่มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับห้องปลอดเชื้อและสภาพแวดล้อมที่ควบคุมได้ เพื่อรักษาสภาพของผลิตภัณฑ์
3. ระบบก๊าซในห้องปฏิบัติการ
*ใช้ในห้องปฏิบัติการเพื่อทำให้กระแสแก๊สบริสุทธิ์ในอุปกรณ์วิเคราะห์ เช่น แก๊สโครมาโทกราฟีและแมสสเปกโทรเมตรี
*รับประกันว่าก๊าซมีความบริสุทธิ์สูงสำหรับการวิจัยและการทดสอบ ปกป้องเครื่องมือที่ไวต่อความเสียหาย
4. การแปรรูปอาหารและเครื่องดื่ม
*ตัวกรองก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์และก๊าซอื่นๆ ที่ใช้ในการอัดแก๊ส บรรจุภัณฑ์ และการเก็บรักษา เพื่อรักษาความปลอดภัยและคุณภาพของอาหาร
*รับประกันว่าก๊าซที่ส่งไปยังโรงงานแปรรูป โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับสาธารณูปโภคก๊าซรายใหญ่ จะปราศจากสิ่งปนเปื้อน
5. อุตสาหกรรมน้ำมันและก๊าซ
*ทำหน้าที่กรองก๊าซธรรมชาติในระบบกรองก๊าซ โดยกำจัดสิ่งปนเปื้อนก่อนการจัดเก็บหรือขนส่ง
*ช่วยปกป้องอุปกรณ์ปลายทางโดยการกำจัดอนุภาค ความชื้น และสิ่งสกปรกในระบบการไหลของก๊าซแรงดันสูง
6. การผลิตสารเคมี
*ตัวกรองก๊าซใช้งาน เช่น ไนโตรเจนและอาร์กอน ที่ใช้ในการสังเคราะห์และปฏิกิริยาทางเคมี
*รักษาความบริสุทธิ์ของก๊าซเพื่อป้องกันการปนเปื้อนและความไม่สม่ำเสมอของปฏิกิริยา
7. อุตสาหกรรมการบินและอวกาศและการป้องกันประเทศ
*ส่งมอบก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงในสภาพแวดล้อมการผลิตและการทดสอบสำหรับวัสดุและชิ้นส่วนด้านการบินและอวกาศ
*ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความบริสุทธิ์ของก๊าซที่สม่ำเสมอในสภาพแวดล้อมที่มีการควบคุม สำหรับการประกอบเครื่องบินและอุปกรณ์ป้องกันประเทศ
8. การผลิตพลังงาน (โรงไฟฟ้า)
*ตัวกรองก๊าซแรงดันสูงสำหรับงานทำความเย็นและงานกระบวนการผลิต โดยเฉพาะในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง
*ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและลดการสึกหรอของอุปกรณ์โดยป้องกันการปนเปื้อนในระบบระบายความร้อนและระบบไหลเวียนของก๊าซ
สิ่งเหล่านี้ตัวกรองมีความสำคัญอย่างยิ่งในทุกการใช้งานที่ต้องการการไหลของก๊าซที่สะอาดและสม่ำเสมอ ช่วยเพิ่มการปกป้องอุปกรณ์
ประสิทธิภาพของกระบวนการ และคุณภาพของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายในอุตสาหกรรมต่างๆ
ส่งข้อความของคุณมาถึงเรา:
