ตัวกรองเซมิคอนดักเตอร์

ตัวกรองแก๊สเซมิคอนดักเตอร์:

รับประกันความบริสุทธิ์ของก๊าซที่ไร้ที่ติในการผลิตชิป

ในโลกที่ซับซ้อนของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งความแม่นยำและความบริสุทธิ์เป็นสิ่งสำคัญยิ่ง คุณภาพของ

ก๊าซที่ใช้มีบทบาทสำคัญในการกำหนดความสำเร็จของกระบวนการ สิ่งเจือปนแม้ในระดับที่น้อยมาก

สามารถสร้างความเสียหายให้กับวงจรที่ละเอียดอ่อนของไมโครชิป ส่งผลให้ไมโครชิปมีข้อบกพร่องและใช้งานไม่ได้ เพื่อป้องกัน

กระบวนการที่สำคัญนี้ ตัวกรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์ทำหน้าที่เป็นผู้พิทักษ์ที่ไม่ยอมใคร ขจัดสิ่งปนเปื้อนอย่างพิถีพิถัน

และมั่นใจในคุณภาพดั้งเดิมของก๊าซที่ไหลผ่านสายการผลิต

มีคุณสมบัติและคุณประโยชน์ที่ยอดเยี่ยมมากมายของตัวกรองโลหะเผาผนึก

1. สร้างขึ้นในสภาพแวดล้อมคลีนรูมอันล้ำสมัย

ตัวกรองเหล่านี้ถือกำเนิดขึ้นในห้องปลอดเชื้อที่ล้ำสมัย ซึ่งเป็นสภาพแวดล้อมที่มีการดูแลสภาพที่บริสุทธิ์อย่างพิถีพิถันเพื่อลดการปนเปื้อนที่อาจเกิดขึ้น พวกเขาผ่านกระบวนการผลิตที่เข้มงวด โดยเริ่มจากการเชื่อมที่มีความแม่นยำภายใต้บรรยากาศของอากาศบริสุทธิ์ การชะล้างด้วยน้ำปราศจากไอออนตามด้วยการกรองไนโตรเจนแรงดันสูง จะช่วยขจัดอนุภาคที่ค้างอยู่ และลดความเสี่ยงของการไหลของอนุภาค

2. ประสิทธิภาพการกำจัดอนุภาคที่ยอดเยี่ยม

ด้วยประสิทธิภาพการกรองที่โดดเด่นที่ 9 LRV สำหรับอนุภาค 0.003μm ซึ่งเป็นไปตามมาตรฐานที่เข้มงวดที่กำหนดโดยวิธีทดสอบ SEMI F38 และ ISO 12500 ตัวกรองเหล่านี้จะกำจัดอนุภาคและอนุภาคที่เกิดจากการกัดกร่อนที่เกิดจากชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหวได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้มั่นใจได้ถึงความบริสุทธิ์บริสุทธิ์ของ ก๊าซ

3. ความแข็งแรงทางกลที่เหนือกว่า

ผ่านการทดสอบอย่างเข้มงวดเพื่อรับประกันความยืดหยุ่นเป็นพิเศษในกระบวนการผลิตและสภาพแวดล้อมที่มีความต้องการสูงซึ่งมักใช้แรงดันแก๊สสูง ตัวกรองเหล่านี้ให้ประสิทธิภาพที่มั่นคงตลอดอายุการใช้งาน

4. เกินมาตรฐานอุตสาหกรรมสูงสุด

เหนือกว่าข้อกำหนดการกรองการจัดการก๊าซที่เข้มงวดสำหรับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ตัวกรองเหล่านี้ผ่านการทดสอบอย่างเข้มงวดเพื่อรับประกันว่าตรงตามประสิทธิภาพการกรองที่สำคัญ การควบคุมการไหลที่แม่นยำ และมาตรฐานความปลอดภัยที่กำหนดโดยระบบส่งก๊าซในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

5. ความมุ่งมั่นอย่างแน่วแน่ต่อความปลอดภัย

เพื่อป้องกันการสัมผัสกับก๊าซในกระบวนการไวไฟ กัดกร่อน เป็นพิษ และลุกไหม้ได้เองในก๊าซ ตัวเรือนตัวกรองจึงผ่านการทดสอบการรั่วอย่างพิถีพิถัน เพื่อให้มั่นใจว่ามีอัตราการรั่วไหลที่น่าทึ่งที่น้อยกว่า 1x10-9 atm scc/วินาที ความมุ่งมั่นอย่างแน่วแน่ต่อความปลอดภัยนี้ทำให้มั่นใจได้ว่ามีก๊าซอันตรายบรรจุอยู่และป้องกันไม่ให้ก่อให้เกิดอันตราย

6. ความบริสุทธิ์อันแน่วแน่เพื่อความเป็นเลิศในการผลิตชิป

ด้วยความสามารถในการกรองที่ยอดเยี่ยม ความมุ่งมั่นอย่างแน่วแน่ต่อความปลอดภัย และการยึดมั่นในมาตรฐานอุตสาหกรรมสูงสุด ตัวกรองก๊าซเหล่านี้มีบทบาทสำคัญในการปกป้องกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ซับซ้อน พวกเขายืนหยัดเป็นผู้พิทักษ์ความบริสุทธิ์ โดยรับประกันว่ามีเพียงก๊าซที่สะอาดที่สุดเท่านั้นที่ไหลผ่านสายการผลิต ซึ่งปูทางไปสู่การสร้างไมโครชิปประสิทธิภาพสูงที่ขับเคลื่อนโลกสมัยใหม่ของเรา

ประเภทของตัวกรองเซมิคอนดักเตอร์

ตัวกรองสารกึ่งตัวนำถูกนำมาใช้ในการใช้งานที่หลากหลาย รวมไปถึง:

* การผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์:

ตัวกรองเซมิคอนดักเตอร์ใช้เพื่อกำจัดอนุภาคออกจากน้ำบริสุทธิ์พิเศษ ก๊าซ และสารเคมีที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

* การวางแผนทางกลเคมี (CMP):

ตัวกรองเซมิคอนดักเตอร์ใช้เพื่อกำจัดอนุภาคออกจากสารละลาย CMP ซึ่งใช้ในการขัดเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

* ชีวการแพทย์:

ตัวกรองเซมิคอนดักเตอร์ใช้เพื่อกำจัดอนุภาคออกจากของเหลวที่ใช้ในการวินิจฉัยและการรักษาทางการแพทย์

* ด้านสิ่งแวดล้อม:

ตัวกรองเซมิคอนดักเตอร์ใช้เพื่อกำจัดอนุภาคออกจากอากาศและน้ำ

ตัวกรองเซมิคอนดักเตอร์มีสี่ประเภทหลัก:

1. ตัวกรองเมมเบรน:

ตัวกรองเมมเบรนทำจากฟิล์มบางและมีรูพรุนซึ่งช่วยให้ของเหลวไหลผ่านได้ในขณะที่ดักจับอนุภาค

 

ไส้กรองเมมเบรนสำหรับเซมิคอนดักเตอร์

 

 

2. ตัวกรองความลึก:

ตัวกรองความลึกทำจากวัสดุเบดหนาและคดเคี้ยวซึ่งจะดักจับอนุภาคขณะที่ไหลผ่านตัวกรอง

 

ตัวกรองความลึกสำหรับเซมิคอนดักเตอร์

 

 

3. ตัวกรองตัวดูดซับ:

ตัวกรองตัวดูดซับทำจากวัสดุที่ดึงดูดและยึดเกาะกับอนุภาค

 

 ตัวกรองตัวดูดซับสำหรับเซมิคอนดักเตอร์

 

 

4. ตัวกรองโลหะเผา

ตัวกรองโลหะเผาผนึกเป็นตัวกรองเชิงลึกประเภทหนึ่งที่ใช้กันทั่วไปในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ทำโดยการเผาผงโลหะละเอียดให้เป็นโครงสร้างที่มีรูพรุน ตัวกรองโลหะเผาผนึกมีชื่อเสียงในด้านความทนทานสูง ประสิทธิภาพการกรองสูง และความสามารถในการทนต่ออุณหภูมิและความดันสูง

ข้อดีของตัวกรองโลหะเผาผนึกสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์:

* ความทนทานสูง:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกมีความทนทานมากและสามารถทนต่อสภาวะการทำงานที่รุนแรง รวมถึงอุณหภูมิ ความดัน และสารเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูง

 

* ประสิทธิภาพการกรองสูง:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกสามารถกำจัดอนุภาคที่มีขนาดไม่เกิน 0.01 ไมครอน ซึ่งจำเป็นสำหรับการปกป้องส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ที่ละเอียดอ่อนจากการปนเปื้อน

* อายุการใช้งานยาวนาน:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกมีอายุการใช้งานยาวนานและสามารถทำความสะอาดและนำกลับมาใช้ใหม่ได้ง่าย

* ความเข้ากันได้ทางเคมี:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกเข้ากันได้กับสารเคมีหลายประเภท ทำให้เหมาะสำหรับใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย

การใช้งานตัวกรองโลหะเผาผนึกในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์:

* การทำให้บริสุทธิ์ก๊าซ:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกใช้ในการกรองก๊าซที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น ไนโตรเจน ไฮโดรเจน และออกซิเจน

* การกรองสารเคมี:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกใช้ในการกรองสารเคมีที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น กรด เบส และตัวทำละลาย

* เครื่องกรองน้ำบริสุทธิ์พิเศษ:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกใช้ในการกรองน้ำบริสุทธิ์พิเศษที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

* การกรองสารละลาย CMP:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกใช้ในการกรองสารละลาย CMP ซึ่งใช้ในการขัดเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

ตัวกรองโลหะเผาผนึกเป็นส่วนสำคัญของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งช่วยรับประกันการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูง

 

ประเภทของตัวกรองเซมิคอนดักเตอร์ที่ใช้ในงานเฉพาะนั้นขึ้นอยู่กับขนาดของอนุภาคที่ถูกกำจัด ประเภทของของเหลวที่ถูกกรอง และระดับการกรองที่ต้องการ

ต่อไปนี้เป็นตารางสรุปตัวกรองเซมิคอนดักเตอร์ประเภทต่างๆ:

ประเภทตัวกรอง	คำอธิบาย	การใช้งาน	ภาพ
ไส้กรองเมมเบรน	ทำจากฟิล์มบางและมีรูพรุนซึ่งช่วยให้ของเหลวไหลผ่านได้ในขณะที่ดักจับอนุภาค	การผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ CMP ชีวการแพทย์ สิ่งแวดล้อม	ไส้กรองเมมเบรนสำหรับเซมิคอนดักเตอร์
ตัวกรองความลึก	ทำจากวัสดุเบดหนาและคดเคี้ยวที่ดักจับอนุภาคขณะไหลผ่านตัวกรอง	CMP ชีวการแพทย์ สิ่งแวดล้อม	ตัวกรองความลึกสำหรับเซมิคอนดักเตอร์
ตัวกรองตัวดูดซับ	ทำจากวัสดุที่ดึงดูดและยึดเกาะกับอนุภาค	การผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ CMP ชีวการแพทย์ สิ่งแวดล้อม	ตัวกรองตัวดูดซับสำหรับเซมิคอนดักเตอร์
ตัวกรองโลหะเผา	ทำโดยการเผาผงโลหะเนื้อละเอียดให้เป็นโครงสร้างที่มีรูพรุน	การทำให้บริสุทธิ์ด้วยแก๊ส, การกรองทางเคมี, การกรองน้ำบริสุทธิ์พิเศษ, การกรองสารละลาย CMP	เปิดในหน้าต่างใหม่www.hengko.com ตัวกรองโลหะเผาสำหรับเซมิคอนดักเตอร์

แอปพลิเคชัน

ตัวกรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์โลหะเผาถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการใช้งานที่หลากหลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ คุณสมบัติเฉพาะตัว เช่น ประสิทธิภาพการกรองสูง ความทนทาน และความสามารถในการทนต่ออุณหภูมิและความดันสูง ทำให้เป็นองค์ประกอบสำคัญของระบบส่งก๊าซในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ต่อไปนี้คือการใช้งานเฉพาะบางส่วนของตัวกรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์โลหะเผาผนึก:

1. การผลิตเวเฟอร์:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกใช้ในการกรองก๊าซที่ใช้ในการผลิตแผ่นเวเฟอร์ เช่น ไนโตรเจน ไฮโดรเจน และออกซิเจน ก๊าซเหล่านี้จำเป็นสำหรับกระบวนการต่างๆ เช่น การเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว การกัดกรด และการเติม

2. การกรองสารเคมี:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกใช้ในการกรองสารเคมีที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น กรด เบส และตัวทำละลาย สารเคมีเหล่านี้ใช้เพื่อวัตถุประสงค์หลายประการ รวมถึงการทำความสะอาด การแกะสลัก และการขัดเงา

3. การกรองน้ำบริสุทธิ์พิเศษ:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกใช้ในการกรองน้ำบริสุทธิ์พิเศษ (UPW) ที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ UPW เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการทำความสะอาดและการล้างเวเฟอร์ รวมถึงการเตรียมสารเคมี

4. การกรองสารละลาย CMP:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกใช้ในการกรองสารละลาย CMP ซึ่งใช้ในการขัดเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ CMP เป็นกระบวนการที่สำคัญในการผลิตไมโครชิป

5. การกรอง ณ จุดใช้งาน (POU):

ตัวกรองโลหะเผาผนึกมักใช้เป็นตัวกรอง POU ซึ่งติดตั้งโดยตรง ณ จุดใช้งานเพื่อให้การกรองมีระดับสูงสุด ตัวกรอง POU มีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานที่ความบริสุทธิ์ของก๊าซเป็นสิ่งสำคัญ เช่น ในการผลิตไมโครโปรเซสเซอร์และอุปกรณ์ประสิทธิภาพสูงอื่นๆ

6. การจัดการก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกถูกนำมาใช้ในระบบจัดการก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อกำจัดสิ่งปนเปื้อนออกจากก๊าซที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ สารปนเปื้อนเหล่านี้อาจรวมถึงอนุภาค ความชื้น และสารประกอบอินทรีย์

7. การผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกใช้ในการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เช่น คอมพิวเตอร์ แท็บเล็ต โทรศัพท์มือถือ เซ็นเซอร์ IoT และอุปกรณ์ควบคุม

8. การกรองระบบเครื่องกลไฟฟ้าไมโคร (MEMS):

ตัวกรองโลหะเผาผนึกใช้ในการกรอง MEMS ซึ่งเป็นกระบวนการกำจัดสิ่งปนเปื้อนออกจากระบบไมโครไฟฟ้าเครื่องกล MEMS นำไปใช้ในการใช้งานที่หลากหลาย รวมถึงเซ็นเซอร์ แอคชูเอเตอร์ และทรานสดิวเซอร์

9. การกรองอุปกรณ์จัดเก็บข้อมูล:

ตัวกรองโลหะเผาผนึกใช้ในการกรองอุปกรณ์จัดเก็บข้อมูล ซึ่งเป็นกระบวนการกำจัดสิ่งปนเปื้อนออกจากอุปกรณ์จัดเก็บข้อมูล เช่น ฮาร์ดไดรฟ์และไดรฟ์โซลิดสเทต

นอกเหนือจากการใช้งานเฉพาะเหล่านี้แล้ว ตัวกรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์โลหะเผาผนึกยังใช้ในการใช้งานอื่นๆ ที่หลากหลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ความคล่องตัวและความน่าเชื่อถือทำให้เป็นเครื่องมือสำคัญสำหรับผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์

กำลังมองหาตัวกรองก๊าซเซมิคอนดักเตอร์โลหะเผาผนึกคุณภาพสูงอยู่ใช่ไหม?

HENGKO เป็นพันธมิตรหลักของคุณสำหรับโซลูชัน OEM ในระบบการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ตัวกรองที่ออกแบบอย่างแม่นยำของเรารับประกันความน่าเชื่อถือและประสิทธิภาพในกระบวนการของคุณ ทำให้คุณได้เปรียบในตลาดที่มีการแข่งขันสูง

ทำไมต้องเลือกตัวกรองของ HENGKO

* คุณภาพและความทนทานที่เหนือกว่า
* โซลูชันที่ปรับแต่งให้เหมาะกับความต้องการเฉพาะของคุณ
* ปรับปรุงประสิทธิภาพสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

อย่าปล่อยให้ความท้าทายในการกรองมาขัดขวางการผลิตของคุณ

ติดต่อเราวันนี้เพื่อสำรวจว่าตัวกรองโลหะเผาผนึกของเราจะปฏิวัติระบบการผลิตของคุณได้อย่างไร

ติดต่อเราได้ที่ka@hengko.com

ร่วมมือกับ HENGKO และก้าวสู่ความเป็นเลิศในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์!